CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构

• 作者: 代明江 侯惠君 况敏 戴达煌 朱霞高 李洪武 林凯生 林松盛
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CrTiAlCN薄膜 磁控溅射 离子束辅助
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 结构材料
• 页码范围: 259-264
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2009.02.010

摘要

采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究.结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分析证实,所制备的多元多层梯度膜与所设计的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/ CrTiAlCN结构相吻合;在梯度过渡中,不同层之间界面体现为渐变过渡过程;沉积制备的多元多层梯度膜硬度高达26.31 GPa,膜/基结合力大于80 N,摩擦因数低至0.113,力学性能优良.