真空冶金法提纯锑掺杂单晶硅埚底料的实验研究

• 作者: MA Wenhui 伍继君 唐绍雨 李志红 梅向阳 马文会
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 埚底料 定向凝固 真空冶金
• 年，卷（期）: 2009,（z2）
• 页码范围: 102-104
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.1|TFI3
• 字数: 609字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0529-6579.2009.z2.033

摘要

采用真空定向凝固技术,在不同真空定向凝固条件下,对拉制锑掺杂的单晶后的埚底料进行提纯并得到铸锭.对不同生长条件下铸锭的生长形貌进行分析.同时,通过ICP-AES测定了铸锭纵向的杂质元素的分布.结果表明,杂质Sb从底端到中上端由于定向凝固的作用呈现浓度升高,从中上端到顶端由于真空蒸馏的作用呈现浓度降低.