MEMS压力传感器及其应用

• 作者: 颜重光
• 来源期刊: 电子产品世界
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS压力传感器 惠斯顿电桥 硅薄膜应力杯 硅压阻式压力传感器 硅电容式压力传感器
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 智能传感器
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5517.2009.06.015

摘要

简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜重光		9	90	4.0	9.0