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2000 l/mm X射线镂空透射光栅的制备研究
2000 l/mm X射线镂空透射光栅的制备研究
作者:
刘明
吴坚
曹磊峰
朱效立
李海亮
谢常青
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光学制造
镂空透射光栅
电子束光刻
X射线光刻
微电镀
摘要:
在满足工艺要求的前提下,通过模拟光栅衍射,设计出镂空透射光栅模型,在此基础上将电子束和X射线光刻技术相结合,研究了制造2000 l/mm X射线镂空透射光栅的新工艺技术.首先利用电子束光刻和微电镀技术在镂空聚酰亚胺薄膜底衬上制备X射线母光栅掩模.然后利用X射线光刻和微电镀技术实现了光栅图形的复制,之后采用紫外光刻和微电镀技术制作加强筋结构,最后通过腐蚀体硅和等离子体刻蚀聚酰亚胺完成镂空透射光栅的制作.从此新的制造工艺结果上来看.制备的光栅栅线平滑,占空比合理,侧壁陡直,不同光栅之间一致性好,完全可以满足应用需求,充分表明了该制造技术是透射式X射线衍射光学元件制造的良好选择.
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高线密度
大面积软X射线自支撑金透射光栅的研制
自支撑金透射光栅
全息光刻
电镀
内容分析
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内容分析
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文献信息
篇名
2000 l/mm X射线镂空透射光栅的制备研究
来源期刊
光学学报
学科
工学
关键词
光学制造
镂空透射光栅
电子束光刻
X射线光刻
微电镀
年,卷(期)
2009,(10)
所属期刊栏目
衍射与光栅
研究方向
页码范围
2650-2655
页数
6页
分类号
TN405
字数
3392字
语种
中文
DOI
10.3788/AOS20092910.2650
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
207
1983
20.0
38.0
2
谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
50
258
9.0
12.0
3
李海亮
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
5
24
3.0
4.0
7
吴坚
北京工业大学激光工程研究院
14
40
3.0
6.0
8
朱效立
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
19
86
6.0
8.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(44)
共引文献
(24)
参考文献
(10)
节点文献
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(10)
同被引文献
(19)
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参考文献(0)
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二级引证文献(0)
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二级引证文献(0)
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引证文献(3)
二级引证文献(0)
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引证文献(3)
二级引证文献(0)
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研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
光学学报
主办单位:
中国光学学会
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
0253-2239
CN:
31-1252/O4
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号(上海800-211信箱)
邮发代号:
4-293
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
11761
总下载数(次)
35
总被引数(次)
130170
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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光学学报2009年第1期
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