气体流量对反应磁控溅射氧化铝/PET薄膜阻隔性能的影响

• 作者: 刘壮 孙智慧 智慧 林晶
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝薄膜 磁控溅射 FTIR 透湿率 透氧率
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 技术专论
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|TB487
• 语种: 中文

摘要

采用直流电源磁控溅射的方法在20μm PET表面沉积氧化铝薄膜,用红外光谱对薄膜成份进行了分析.用MOCON薄膜阻隔性能测试设备对薄膜的透氧率、透湿率进行了测试.结果表明:薄膜上Al-O 的峰值强度变化与O_2和Ar气流量有关,当O_2和Ar气流量分别为9和105 mL/min时:Al-O波峰强度最大;制备高阻隔氧化铝薄膜的透明度最佳;所得氧化铝薄膜透氧率比原膜降低15倍,透湿率降低5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林晶		40	160	7.0	11.0
2	刘壮		36	267	9.0	16.0
3	孙智慧		87	596	14.0	21.0
4	智慧		13	31	3.0	5.0