物理气相沉积法制备薄膜的内应力形成机理及测量方法

• 作者: 张瑛 方前锋 杨俊峰
• 来源期刊: 科技创新导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 物理气相沉积 薄膜 内应力
• 年，卷（期）: 2009,（34）
• 所属期刊栏目: 化学化工
• 页码范围: 108-110
• 页数: 3页
• 分类号: O345
• 字数: 4054字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-098X.2009.34.083

摘要

本文介绍了用物理气相沉积(PVD)方法制备薄膜的应力与微观结构的变化,及它们之间的相互关系,总结了应力产生的模型和机理.并就岛状模式生长多晶薄膜中的应力可逆现象给予了关注.最后,总结了当前薄膜应力的测试方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张瑛		16	406	8.0	16.0
2	方前锋	中国科学院固体物理研究所	51	197	8.0	12.0
3	杨俊峰	中国科学院固体物理研究所	34	287	10.0	16.0