超精密加工表面特性的功率谱密度表征与分析

• 作者: 于光 刘宪芳 姚俊 张伟 李鹏 赵清亮 黄海涛
• 来源期刊: 哈尔滨工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密加工 表征 功率谱密度
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TG580.1
• 语种: 中文

摘要

为了了解加工方法和参数对加工表面特性PSD表征结果的影响规律,采用功率谱密度方法(PSD)对超精密磨削加工表面进行了表征与分析.应用Dimension 3100原子力显微镜对超精密加工表面进行测量,得到三维微观形貌和数据,以空间波长为横坐标,功率谱密度为纵坐标输出PSD图像,简单直观地分析了加工表面空间波长分布及不同波长在表面所占的比重,对比分析了加工方法和参数对PSD表征结果特征的影响.实验结果表明,超精密加工表面PSD图像的主导频率、波长分布特点以及各波长的PSD值大小等参数不仅可以同时体现横向尺寸及高度尺寸特性,而且能够得到表面误差的空间频率分布和方向特性信息.