硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响

• 作者: 丁建宁 程广贵 袁宁一 郭立强 高晓妮
• 来源期刊: 江苏大学学报（自然科学版）
• 学科: 生物学
• 关键词: 纳米硅薄膜 晶态含量 晶粒尺寸 光学禁带宽度 电导率
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 300-303
• 分类号: Q945
• 字数: 2374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2010.03.012

摘要

通过改变反应气体中硅烷体积分数,采用直流偏压辅助等离子体化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积本征氢化纳米硅薄膜.使用拉曼光谱仪、原子力学显微镜和紫外可见光透射仪对薄膜进行测试,研究不同硅烷体积分数对薄膜微结构和光学性能的影响.结果表明:当硅烷体积分数增加,晶粒尺寸增加,而晶态含量却随之下降.晶态含量的降低,使拉曼光谱中谱峰的强度降低,峰位发生蓝移,薄膜有序性随之降低;而且薄膜的光学禁带宽度随硅烷体积分数的增加而增加.当硅烷体积分数为1.3%时,沉积本征氢化纳米硅薄膜,薄膜中晶粒分布均匀,其生长存在取向性.此时晶态含量约为50%,晶粒尺寸约为2.6 nm;薄膜具有较大的光学禁带宽度,为1.702 eV,以及较高的电导率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁建宁	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	146	769	14.0	19.0
7	郭立强		12	24	3.0	4.0
11	程广贵	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	48	176	8.0	12.0
12	袁宁一	江苏工业学院低维材料微纳器件与系统研究中心	26	154	8.0	10.0
16	高晓妮	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	1	2	1.0	1.0