采用EPMA确定微粒表面薄膜厚度的方法研究

• 作者: 安竹 毛莉
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜厚度 电子微探针 蒙特卡洛模拟
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 805-809
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2010.04.024

摘要

本文探讨了一种采用电子微探针(EPMA)技术无损确定微粒表面薄膜厚度的方法.EPMA实验采用蒙特卡洛方法模拟,研究的样品为镀有Ni薄膜的空心玻璃微球和厚的Ni平板.采用蒙特卡洛方法获得了在不同入射电子能量和薄膜厚度情况下的k比例因子,空心玻璃微球上的Ni薄膜厚度可由k比例因子曲线得到,并讨论了误差等问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安竹	四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室	24	49	4.0	6.0
2	毛莉	四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0