基于神经网络的157 nm激光微加工

• 作者: 崔健磊 徐刚 戴玉堂 白帆
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 157nm激光 微加工 刻蚀质量 神经网络 工艺优化
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 300-303
• 分类号: TG665
• 字数: 2488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AL20103004.0300

摘要

157nm激光被视为光刻和微加工的有力工具之一,其加工的表面质量强烈依赖于激光参数.针对157nm微加工的特点.提出建立人工神经网络优化工艺参数的方法.分析与实验结果表明,利用优化的工艺参数进行激光微加工,其刻蚀质量得到明显提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴玉堂	武汉理工大学光纤传感技术研究中心	40	174	7.0	12.0
2	崔健磊	武汉理工大学光纤传感技术研究中心	5	19	2.0	4.0
3	徐刚	武汉理工大学光纤传感技术研究中心	30	71	6.0	8.0
4	白帆	武汉理工大学光纤传感技术研究中心	6	30	3.0	5.0