自动动态补偿功能改善酸蚀蚀刻不均匀性问题

• 作者: 魏佩君
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 酸蚀 间距 自动动态补偿 线宽补偿量 蚀刻不均匀性
• 年，卷（期）: 2010,（z1）
• 页码范围: 288-292
• 分类号: TN41
• 字数: 2193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2010.z1.042

摘要

在酸蚀制程中,由于其蚀铜量较大,蚀刻线生产时蚀刻速度较慢,导致蚀刻不均匀性对线路制作存在很大影响,为改善蚀刻不均匀性的问题,采用奥宝公司专门开发的可制造性设计功能--自动动态补偿(Dynamic Etch Compensation),根据不同的间距设置不同的线宽补偿量,来确保蚀刻后线宽的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏佩君		1	0	0.0	0.0