用不同靶材制备B-C-N薄膜及其红外表征

• 作者: 吴占玲 张东 柳浩 潘丽 王健 白亦真 管昌雨 赵纪军
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: B-C-N薄膜 N2流量 傅里叶变换红外光谱 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 1027-1030
• 分类号: O484.4
• 字数: 1451字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射方法, 分别利用六方氮化硼(h-BN)、硼(B)和石墨(C)靶, 在氩气和氮气的氛围中, 沉积B-C-N薄膜. 傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析表明: 在1 200～1 800 cm-1和1 000～1 750 cm-1处出现了较宽的吸收峰;在2 200 cm-1处出现了 NC 键的特征吸收峰. 表明在沉积的薄膜中, C原子与N原子相结合. 分别溅射C和h-BN靶, 红外光谱分析表明, B-C键在1 100 cm-1处未产生吸收峰, 即利用h-BN和C靶沉积的B-C-N薄膜倾向于相分离, 利用B和C靶沉积的B-C-N薄膜中的原子实现了原子量级的化合.