浅谈CVD金刚石薄膜技术

• 作者: 甄桓
• 来源期刊: 江汉石油科技
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石薄膜 气相沉积法 生长机理 应用前景
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: TG135.5

摘要

简单介绍了CVD金刚石薄膜技术发展、金刚石薄膜的制备有物理气相沉积法（PVC）和化学气相沉积法（CVD）两类。通过国内外有关学者就金刚石薄膜生长机理作的许多研究，对薄膜生长机理作些介绍。同时也指出它的局限性。由于CVD金刚石薄膜具有各种优良的特性，使得它在各个领域得到广泛的应用。

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1	甄桓		1	0	0.0	0.0