半导体设备抓取和放置控制方法研究

• 作者: 侯为萍 周冉 周庆亚 孟宪俊 高建利
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 抓取和放置 控制方法 轨迹规划
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 12-14
• 分类号: TN05
• 字数: 2137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.10.004

摘要

抓取和放置机构是半导体设备上的关键机构,它的运动时序直接关系到设备运行效率,介绍了半导体设备抓取和放置机构的几种控制方法,通过对几种方法的运行轨迹进行对比,获得并列举了各个方法的优缺点,并给出了应用场合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高建利	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	19	3.0	4.0
2	周庆亚	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	15	2.0	3.0
3	侯为萍	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	21	3.0	3.0
4	周冉	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	3	1.0	1.0
5	孟宪俊	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	5	2.0	2.0