UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析

• 作者: 丁桂甫 刘瑞 李雪萍 毛胜平 汤俊 汪红
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS UV-LIGA镍 电沉积 力学性能 单轴拉伸
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 354-357,361
• 页数: 5页
• 分类号: TB301|TQ153
• 字数: 3884字
• 语种: 中文

摘要

利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料.材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用.主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm~2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能.3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化--弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能.通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因.该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据.