金刚石聚晶薄膜制备及其电子场的发射性能

• 作者: 张永胜 程春晓 高金海
• 来源期刊: 河南科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石聚晶薄膜 场发射 陶瓷衬底
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 88-90
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6871.2010.01.024

摘要

微波等离子体化学气相沉积是制备微/纳米结构的方法之一,使用该方法在陶瓷衬底上制备微米金刚石聚晶材料薄膜.利用扫描电子显微镜表征了材料的表面形貌,单元尺寸一致,分布均匀.使用X射线衍射和拉曼光谱分析了薄膜的结构,测试了薄膜材料的电子场发射性能.数据表明:制备的薄膜材料开启电场为1.25 V/μm,在2.55 V/μm的电场下,其电子场发射电流密度达到6.3 mA/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张永胜	洛阳理工学院数理系	53	135	6.0	9.0
2	程春晓	洛阳理工学院数理系	8	10	2.0	3.0
3	高金海	郑州师范高等专科学校物理系	22	25	3.0	4.0