大角度离子注入机中的颗粒污染

• 作者: 孙勇 王迪平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 大角度离子注入机 颗粒污染 产生 注入掺杂 预防
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 5-8,51
• 分类号: TN307
• 字数: 3863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.07.002

摘要

针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了如何从设计上减少颗粒污染的产生途径以及生产设备怎样预防颗粒污染.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙勇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	15	2.0	3.0
2	王迪平	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	3	1.0	1.0