柔性基底薄膜在磁控溅射镀膜领域的应用研究

• 作者: 杨长胜 裴晋泽 贾广生
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 柔性基底薄膜 工程应用
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 热加工工艺技术与材料研究
• 页码范围: 67-69
• 页数: 3页
• 分类号: TM227
• 字数: 2854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2010.03.024

摘要

聚乙烯醇(PVA)薄膜、聚酰亚胺(PI)薄膜、聚酯(PET)薄膜是磁控溅射时使用的几种典型柔性基底薄膜,其主要性能参数有耐温、放气率、拉伸强度和复合强度等,这些性能的好坏是选用磁控溅射柔性基底薄膜的重要标准.本文通过对比磁控溅射镀膜时所用的几种柔性基底薄膜的使用性能,给出了适合磁控溅射制备微屑的柔性基底薄膜和制备多层膜的柔性基底薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨长胜	海军装备研究院航空装备论证研究所	7	20	3.0	4.0
2	裴晋泽	海军装备研究院航空装备论证研究所	1	9	1.0	1.0