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摘要:
采用磁控溅射法制备了SiC/ZnO/Si镶嵌结构复合薄膜,对样品采用了不同的温度进行退火处理,测定了样品的光致发光图谱.结果显示,复合薄膜的光致发光强度较单体薄膜有一定的增强,主要原因是发光复合中心的多元化和分布浓度的增加;随着退火温度的不同,各峰位的变化趋势有所不同.
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应力对ZnO/Si异质结构的光致发光的影响
ZnO/Si异质结构
光致发光
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双轴张应力
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 SiC/ZnO/Si镶嵌结构的光致发光研究
来源期刊 功能材料 学科 物理学
关键词 磁控共溅射 复合薄膜 光致发光
年,卷(期) 2010,(12) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 2151-2152,2156
页数 分类号 O469
字数 1815字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 马书懿 西北师范大学物理与电子工程学院 69 226 8.0 11.0
2 魏晋军 西北师范大学知行学院 19 66 4.0 8.0
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研究主题发展历程
节点文献
磁控共溅射
复合薄膜
光致发光
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
功能材料
月刊
1001-9731
50-1099/TH
16开
重庆北碚区蔡家工业园嘉德大道8号
78-6
1970
chi
出版文献量(篇)
12427
总下载数(次)
30
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