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微机械陀螺结构的稳健优化设计
微机械陀螺结构的稳健优化设计
作者:
刘显学
周浩
唐海林
苏伟
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机械陀螺
稳健设计
容差分析
最坏情况容差
摘要:
本文提出一种基于容差分析的微机械陀螺稳健设计方法,开发了相应的稳健优化设计流程.该方法采用估算目标函数和约束的名义值与扰动值来定义系统稳健性,同时将最坏情况容差作为设计参数的扰动.在集成了器件建模和优化工具的设计环境中开发了相应的自动化设计流程,可用于微机械陀螺的结构设计.优化算法使用遗传算法.讨论了不同的稳健设计方法,结果表明本文的方法能以合适的计算成本获得高质量的结果.系统敏感性分析表明,稳健优化设计结果对误差是不敏感的.采用蒙特卡洛分析检验稳健设计的产出率,结果表明有88%的试验样本是可接受的,而对于确定性优化,仅有50%的可接受样本.微结构已经采用键合-深反应离子刻蚀工艺加工出来.
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硬件描述语言
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微系统
陀螺仪
结构特点
关键技术
基于近似模型的y轴微机械陀螺系统级优化
MEMS
系统级
近似模型
优化
微机械陀螺
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
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期刊文献
内容分析
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相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
微机械陀螺结构的稳健优化设计
来源期刊
纳米技术与精密工程
学科
工学
关键词
微机械陀螺
稳健设计
容差分析
最坏情况容差
年,卷(期)
2011,(4)
所属期刊栏目
微机电系统
研究方向
页码范围
335-339
页数
分类号
TP212.1
字数
4181字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-6030.2011.04.009
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究所
92
541
12.0
16.0
2
唐海林
中国工程物理研究院电子工程研究所
16
76
5.0
8.0
3
周浩
中国工程物理研究院电子工程研究所
8
18
3.0
3.0
7
刘显学
中国工程物理研究院电子工程研究所
11
38
4.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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引证文献(1)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
微机械陀螺
稳健设计
容差分析
最坏情况容差
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
纳米技术与精密工程(英文)
主办单位:
天津大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
季刊
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
开本:
出版地:
天津市南开区卫津路92号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
eng
出版文献量(篇)
1315
总下载数(次)
2
总被引数(次)
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