晶圆制造系统投料策略综述

• 作者: 李友 李娜 李程 江志斌
• 来源期刊: 工业工程与管理
• 学科: 经济
• 关键词: 晶圆制造 投料策略 派工规则 集成
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 理论与方法
• 页码范围: 108-114
• 分类号: F270
• 字数: 7214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5429.2011.06.019

摘要

首先论述了投料策略对于半导体晶圆制造系统性能提升的重要性；随后将投料策略划分为常规投料策略、分产品分层控制投料策略、投料派工综合策略三类,并从这三个方面分别对投料策略进行了细致的归纳与具体的分析.最后,指出了投料策略未来的发展方向和存在的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李娜	上海交通大学机械与动力工程学院	93	620	12.0	21.0
2	江志斌	上海交通大学机械与动力工程学院	161	2126	22.0	39.0
3	李友	上海交通大学机械与动力工程学院	4	28	3.0	4.0
4	李程	上海交通大学机械与动力工程学院	6	41	4.0	6.0