过渡层对铜基金刚石薄膜的影响

• 作者: 余志明 刘学璋 王玲 田孟昆 葛婧萱 黄臣
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 铜 过渡层 化学气相沉积 附着性能
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 19-24
• 分类号: TG174.444|TB43
• 字数: 3353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2011.04.004

摘要

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)在纯铜基体及4种不同的过渡层(Ti、Nb、Ni、W)上制备金刚石薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、拉曼光谱仪(Raman)以及维氏硬度计对金刚石薄膜进行检测分析,研究了不同过渡层对金刚石薄膜形貌质量和附着性能的影响.结果表明,在纯铜基体以及多种过渡层上都能制备高纯度的金刚石薄膜；在形核率较高的基体上金刚石颗粒的尺寸较小,在Ni过渡层上金刚石颗粒的尺寸较大；金刚石薄膜在Ti过渡层上结合性能最好,但是非金刚石相最多.在Nb、W过渡层上的结合性能最差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
2	王玲	中南大学材料科学与工程学院	45	209	9.0	12.0
3	田孟昆	中南大学材料科学与工程学院	3	22	3.0	3.0
4	刘学璋	中南大学材料科学与工程学院	2	14	2.0	2.0
5	葛婧萱	中南大学材料科学与工程学院	4	21	3.0	4.0
6	黄臣		1	6	1.0	1.0