用于电子制造的机器人

• 作者: K．Mathia（著）
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 电子制造业 机器人 工业洁净室 真空压力 大气压力 平板显示器 太阳能产业 微机电系统
• 年，卷（期）: gwkjxspj_2011,（1）
• 页码范围: 20-21
• 页数: 2页
• 分类号: TN873.91

摘要

许多电子制造业如硬盘、平板显示器、太阳能产业、纳米技术、微机电系统（MEMS）和制药工业要求在无尘环境中进行生产，本书论述在电子制造中工业洁净室的机器人的设计及应用，书中介绍了工业洁净室机器人的原理和应用，特别是在半导体制造中最苛求的清洁度要求，根据清洁度的要求，洁净室的机器人可分为两类：在环境大气压力下高质量清洁度的“大气机器人”和在各种真空压力下外壳中极端清洁的“真空机器人”。