一种三维多层1TxR阻变存储器设计

• 作者: 吴雨欣 张佶 林殷茵 金钢 陈怡
• 来源期刊: 复旦学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 三维 可堆叠 多层 阻变存储器 高密度应用
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子科学与工程
• 页码范围: 423-429
• 页数: 7页
• 分类号: TN402
• 语种: 中文

摘要

提出一种适用于未来高密度应用的三维多层可堆叠1TxR阻变存储器设计.采用新型的多个存储电阻共享一个选通管的存储单元,选通管制作在硅片表面与标准逻辑工艺兼容,存储电阻堆叠在不同的互连金属层之间,构成三维存储结构.在0.13μm工艺下,以一个使用8层金属堆叠的1TxR（x=64）结构为例,其存储密度比传统的单层1T1R结构高280%.同时提出相关的读写操作方法来防止由漏电流造成的误写和误读并且降低功耗.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张佶		7	84	4.0	7.0
2	金钢		5	9	2.0	3.0
3	吴雨欣		5	12	2.0	3.0
4	林殷茵		40	129	7.0	10.0
5	陈怡		11	18	2.0	4.0