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摘要:
根据Matthew-Blakeslee和People-Bean的临界厚度理论,利用牛顿迭代公式,使用计算机模拟出高In组分InxGat-xAs临界厚度的数值解,得出理论上的In0.82Ga0.18As临界厚度.使用低压金属有机化学气相淀积(LP-MOCVD)技术,在InP(100)衬底上分别生长低于临界厚度、等于临界厚度和高于临界厚度的In0.82Ga0.18As低温层,然后在生长条件一致情况下生长In0.82Ga0.18As高温层,分析临界厚度对In0.82Ga0.18As高温层的影响.
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文献信息
篇名 研究In0.82Ga0.18As/InP的临界厚度
来源期刊 海南师范大学学报(自然科学版) 学科 物理学
关键词 In0.82Ga0.18As 金属有机化学气相淀积 临界厚度
年,卷(期) 2011,(1) 所属期刊栏目 基础理论与应用研究
研究方向 页码范围 44-46,55
页数 分类号 O471.1
字数 2486字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-4942.2011.01.013
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 符运良 海南师范大学物理与电子工程学院 55 136 5.0 9.0
2 傅军 海南师范大学物理与电子工程学院 44 137 6.0 10.0
3 缪国庆 中国科学院激发态物理重点实验室 15 45 4.0 5.0
4 张铁民 海南师范大学物理与电子工程学院 29 73 4.0 7.0
5 孙书娟 海南师范大学物理与电子工程学院 12 13 2.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
In0.82Ga0.18As
金属有机化学气相淀积
临界厚度
研究起点
研究来源
研究分支
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期刊影响力
海南师范大学学报(自然科学版)
季刊
1674-4942
46-1075/N
16开
海南省海口市龙昆南路99号
84-18
1987
chi
出版文献量(篇)
2115
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7380
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