多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制

• 作者: 吴亚明 徐静 李四华 钟少龙 龙亮
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 多台阶平板 平行平板 静电驱动 微镜阵列 高占空比
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1816-1823
• 分类号: TN256|TN491
• 字数: 3183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111908.1816

摘要

为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列.理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别.研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多台阶平板静电驱动的微镜阵列,获得了微镜面尺寸达到600 μm×200 μm,包含52个微镜面排布,占空比高达97％的微镜阵列.测试表明,制作的微镜面结构在驱动电压为164 V时可以实现最大1.1°的扭转角度,相对于传统的平行平板静电驱动结构大大降低了驱动电压.