全自动网络单晶炉系统设计与应用

• 作者: 何茂栋 李润源 杨伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 固液交界面 设计 模型
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 1-4,14
• 分类号: TF806.9
• 字数: 3083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.12.001

摘要

单晶炉是生产单晶硅的核心设备,其控制系统分析模型的建立有两种方法。一是以单晶直径外形尺寸为目标建立模型;二是以电气控制系统变量为目标建立模型。两种方法均未考虑到单晶生长工艺影响与单晶工艺指标。提出一种以固液交界面热场动态平衡分析为基础的方法,建立单晶炉控制系统变量分析模型,并据此辅以直径形状控制变量的工艺性制约因素考虑,采用工业以太网技术构成全自动网络单晶炉系统设计方案。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李润源		1	1	1.0	1.0
2	何茂栋		1	1	1.0	1.0
3	杨伟		1	1	1.0	1.0