非晶硅薄膜晶体管的热阻模型

• 作者: 刘远 姚若河 李斌
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅薄膜晶体管 热阻 自热效应 温度分布
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 28-33
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 3192字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20112601.0028

摘要

基于能量方程、热流方程和边界条件,推导出了非晶硅薄膜晶体管的沟道热阻模型.采用该模型可准确预估器件有源层内的平均温度.在沟道热阻模型的基础上,考虑器件问场氧化层和金属瓦联线的影响,建立了非晶硅薄膜晶体管的二维热阻模型.采用该模型可描述器件有源层内温度的横向分布,并快速预估沟道内的最高结温.最后,将模型预测结果与器件模拟仿真结果进行了对比,两者拟合良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李斌	华南理工大学电子与信息学院	128	542	12.0	17.0
2	姚若河	华南理工大学电子与信息学院	126	611	11.0	18.0
3	刘远	广东丁业大学材料与能源学院	1	0	0.0	0.0