Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及光电性能研究

• 作者: 张日理 汤健 王旭升 蒋志洁 阳生红
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: Al-Y共掺杂 ZnO透明导电薄膜 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 35-38
• 分类号: O484.4|TN304
• 字数: 2428字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法,在玻璃衬底上制备出Al-Y共掺杂的ZnO透明导电薄膜.X射线衍射(XRD)表明,Al-Y共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向.制备的Al-Y共掺杂ZnO薄膜电阻率最小值为1.63×102Ω·cm,在可见光区(400 - 800 nm)平均透过率超过85％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王旭升	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	2	7	2.0	2.0