气动增压泵在单片晶圆清洗过程中的应用

• 作者: 冯小强 刘永进 杜建科
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 气动增压泵 单片晶圆清洗 液泵流量 无级控制
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 18-20
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.01.006

摘要

主要分析了气动增压泵的组成和工作原理,描述了气动增压泵在单片晶圆清洗过程中的应用特点和优势.介绍了气动增压泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘永进	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	11	2.0	2.0
2	冯小强	中国电子科技集团公司第四十五研究所	12	9	2.0	3.0
3	杜建科	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	5	1.0	2.0