大直径探针台的晶圆自动传输系统

• 作者: 王文举 王洪宇 谭立杰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆自动传输 探针台 R-θ型机械手 预对准
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 测试与测量
• 页码范围: 36-40
• 分类号: TN407
• 字数: 825字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.11.010

摘要

介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——一片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-θ型机械手的直线运动轨迹，阐述了机械式和光学预对准装置的主要原理，说明了晶圆自动传输系统的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王洪宇		5	16	3.0	4.0
2	谭立杰		11	20	3.0	4.0
3	王文举		2	6	1.0	2.0