通过倒易空间扫描表征AlGaN外延材料

• 作者: 周勋 廖秀英 杨晓波 赵文伯 赵红
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaN HRXRD 倒易空间 MOCVD 紫外探测器
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 383-385
• 分类号: TN304.23
• 语种: 中文

摘要

AlGaN在紫外器件(紫外探测器、紫外LED等)以及高速功率器件(HEMT等)方面有着非常重要的应用.提出利用HRXRD倒易空间的测试分析方法来获得外延材料中的晶格应变及其缺陷状态,这对AlGaN材料的MOCVD外延生长具有重要的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵红		11	53	4.0	7.0
2	赵文伯		20	159	5.0	12.0
3	周勋		21	79	5.0	8.0
4	杨晓波		11	33	3.0	5.0
5	廖秀英		3	19	2.0	3.0