MEMS微型热敏传感器数值模拟

• 作者: 丁英涛 刘汝卿 王竹萍
• 来源期刊: 北京理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 微型热敏传感器 灵敏度 三维数值模拟
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 光学与电子工程
• 页码范围: 1435-1438
• 分类号: TP212
• 字数: 2521字
• 语种: 中文

摘要

借助计算流体动力学软件Fluent,采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizablek-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况,探讨了提高传感器灵敏度的方法.同时,设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器.数值模拟结果发现,采用具有较低热导率的结构材料及工作气体,隔热效果最佳;合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度.该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、制造提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁英涛	北京理工大学信息与电子学院	17	55	5.0	6.0
2	王竹萍	北京理工大学信息与电子学院	5	17	3.0	3.0
3	刘汝卿	北京理工大学信息与电子学院	3	13	3.0	3.0