光学薄膜厚度实时在线监测系统的设计

• 作者: 张栋 王振国 金清理 颜利芬 黄晓虹
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 光学多道分析器 二合一光纤束探头 薄膜厚度 等厚干涉原理 干涉相消波长
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 8-11
• 分类号: TP211|G642.0
• 字数: 1844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2011.09.003

摘要

为了实时监测光学薄膜的厚度,设计和制作了一款照明和采集干涉图谱为一体的石英光纤束探头,基于光学多道分析器、白色LED光源和计算机等设备组成,实现高精度监测薄膜厚度的测量系统.以薄膜等厚干涉原理为依据,分析了干涉相消波长测量薄膜厚度的原理与可行性.用汞灯标准谱线对光学多道分析器进行定标,通过自制的石英光纤束探头照明和采集干涉图谱,经光学多道分析器与计算机处理获得薄膜反射干涉相消光波长,计算得到光学薄膜厚度.测量系统通过对手机屏幕贴膜和不干胶薄膜样品的涂层厚度测试,可以监测纳米量级的薄膜厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金清理	温州大学物理与电子信息工程学院	9	52	4.0	7.0
2	颜利芬	温州大学物理与电子信息工程学院	4	24	2.0	4.0
3	王振国	温州大学物理与电子信息工程学院	6	30	3.0	5.0
4	黄晓虹	温州大学物理与电子信息工程学院	11	53	5.0	7.0
5	张栋	温州大学物理与电子信息工程学院	10	33	4.0	5.0