基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量

• 作者: 喻波 李春 金春水
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 Mo/Si多层膜 扩散系数 掠入射X射线反射谱 四层模型 极紫外
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 214-219
• 页数: 6页
• 分类号: O484.5|O434.19
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.1107002

摘要

测量了Mo/Si多层膜在250℃下经历不同时间退火后的掠入射X射线反射谱,从中提取出特定级次衍射峰在退火过程中的相对移位,通过布拉格公式拟合,得到了Mo/Si多层膜周期厚度皮米级别的相对变化.采用扩散控制模型来描述Mo/Si多层膜界面扩散,界面厚度的平方随时间线性增加,由此拟合得到Mo和Si间的扩散系数为0.33×10-22 cm2/s.采用四层模型,对掠入射X射线反射谱进行全谱拟合,得到了Mo,Si和扩散层MoSi2的密度分别为9.3,2.5和5.4 g/cm3,据此对Mo和Si间扩散系数进行修正,最终得到在250℃下,Mo/Si多层膜中Mo和Si间的扩散系数为1.88×10-22 cm2/s,从而为研究Mo/Si多层膜的热稳定性提供了定量依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	30	317	10.0	17.0
2	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	56	202	9.0	11.0
3	喻波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	13	2.0	3.0