AZO溅射靶材的热压制备

• 作者: 卢世刚 孙静 段华英 王星明 白雪 石志霞 黄松涛
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 学科: 工学
• 关键词: AZO 溅射靶材 热压 气孔 相结构
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 页码范围: 1550-1556
• 分类号: TB383.2
• 字数: 801字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(11)60895-9

摘要

按质量比92∶2将ZnO和Al2O3粉末采用热压方法制备AZO溅射靶材.研究温度、压力、保温和保压时间等热压工艺条件对靶材相对密度的影响,研究致密化过程中的气孔演化和相结构变化.结果表明:采用分段热压方式,即在压力35 MPa下,在温度1 050℃和1 150℃分别保温保压1h,所制备的AZO靶材具有最大的相对密度99％.在温度为1 050℃时,靶材中的闭合气孔率最低；当热压温度低于900℃时,靶材中存在Al2O3相；当温度升高到1 000℃以后,Al2O3相消失,但有ZnAl2O4相生成,且ZnAl2O4相随着温度的升高而增加.与无压烧结比较,热压烧结具有烧结温度低、ZnAl2O4相含量低的优点.靶材电阻率随着热压温度的升高和保温、保压时间的延长而降低.在热压温度1 100℃、压力35 MPa、保温和保压时间10h下制备了电阻率低达3× 10-3Ω·cm的AZO靶材.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄松涛		47	456	14.0	18.0
2	卢世刚		90	783	16.0	22.0
3	孙静		8	31	3.0	5.0
4	石志霞		8	37	3.0	6.0
5	白雪		13	34	3.0	5.0
6	王星明		24	157	9.0	12.0
7	段华英		11	83	5.0	9.0