溅射靶材的制备及应用研究

• 作者: 刘东亮 金永中 陈建
• 来源期刊: 四川理工学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 靶材制备 集成电路 平面显示器 光学镀膜
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1549.2005.03.008

摘要

随着电子及信息产业迅猛发展,全球溅射靶材的需求量越来越多.文章介绍了靶材的分类、制备方法和应用情况,并指出了目前溅射靶材急需解决的几个重大问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建	四川理工学院材料与化学工程系	131	670	11.0	22.0
2	金永中	四川理工学院材料与化学工程系	89	417	11.0	16.0
3	刘东亮	四川理工学院材料与化学工程系	45	275	9.0	14.0