用于薄膜残余应力检测的微指针放大机构

• 作者: 王海 童云华
• 来源期刊: 安徽工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性铰链 薄膜 残余应力检测 放大机构中圈分类号：TB43
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TP312
• 字数: 3792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0977.2012.02.016

摘要

在MEMS器件中应用的各类薄膜材料在制备过程所产生的残余应力，对器件的性能和可靠性具有较大的影响．设计了一种用于残余应力在线检测的柔性铰链放大机构，并对柔性铰链的结构尺寸与放大机构的角变形和转动刚度的关系进行理论建模，利用FEA软件对3种不同类型柔性铰链的转动刚度进行了数值仿真，为用于残余应力检测的微指针结构的放大机构的优化设计提供了前期研究基础．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海	安徽工程大学安徽省先进数控和伺服驱动重点实验室	47	134	6.0	9.0
2	童云华	安徽工程大学安徽省先进数控和伺服驱动重点实验室	4	3	1.0	1.0