梯度基体温度法和反应溅射TiC过渡层对钛合金基体沉积金刚石薄膜的影响

• 作者: 余志明 刘丹瑛 孟令聪 张益豪 魏秋平
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 过渡层 梯度降温 温度 热丝化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 20-27
• 分类号: TG174.44|TB43
• 字数: 3151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2012.03.004

摘要

以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6Al4V)平板基体上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和洛氏硬度仪分析薄膜的表面形貔、结构、成分和附着性能,研究了高温形核-低温生长的梯度降温法对原始钛合金和反应磁控溅射TiC过渡层的钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响.结果表明:原始基体区和TiC过渡层区沉积的金刚石薄膜平均尺寸分别为0.77 μm和0.75 μm,薄膜内应力分别为-5.85 GPa和-4.14 GPa,TiC层的引入可以有效提高金刚石的形核密度和晶粒尺寸的均匀性,并减少薄膜残余应力；高温形核-低温生长的梯度降温法可以有效提高金刚石的形核密度和质量,并提高原始基体上沉积金刚石薄膜的附着性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
2	魏秋平	中南大学材料科学与工程学院	35	149	7.0	9.0
6	刘丹瑛	中南大学材料科学与工程学院	4	21	3.0	4.0
7	张益豪	中南大学材料科学与工程学院	2	12	2.0	2.0
8	孟令聪	中南大学材料科学与工程学院	3	19	3.0	3.0