25mm低阻硅抛光片清洗技术研究

• 作者: 杨洪星 耿莉
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 清洗技术 色斑
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 清洗技术与设备
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 1357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.06.012

摘要

在125mm（5英寸）硅抛光片清洗过程中，发现硅片边缘容易出现“色斑”现象。对这一现象进行了分析．通过工艺试验，消除了这种现象。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨洪星	中国电子科技集团公司第四十六研究所	50	145	6.0	8.0
2	耿莉	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	7	1.0	2.0