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MEMS sensor technology
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文献信息
| 篇名 | MEMS sensor technology | ||
| 来源期刊 | 中国工程科学：英文版 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | MEMS传感器 传感器技术 西安交通大学 加速度传感器 压力传感器 气体传感器 机械系统 研究成果 | ||
| 年，卷（期） | 2012,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 16-25 | |
| 页数 | 10页 | 分类号 | TP212|TN965 |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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工程科学(英文版)
主办单位：
中国工程院出版委员会
出版周期：
季刊
ISSN：
1672-4178
CN：
10-1244/N
开本：
出版地：
北京市西城区德外大街4号
邮发代号：
80-744
创刊时间：
2003
语种：
eng
出版文献量（篇）
580
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总被引数（次）
941
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