平行俄歇电子分析仪

• 来源期刊: 电脑与电信
• 学科: 工学
• 关键词: 俄歇电子能谱 分析仪 平行 电子设备 结构表征 气相化学
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 国际合作项目推荐
• 页码范围: 25-25
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1122字
• 语种: 中文

摘要

俄歇电子能谱（AES）是目前用于固体最表层原子元素标识的一种方法，对于许多先进电子设备的研发至关重要，而且也广泛应用于从气相化学到纳米结构表征等多个领域。