基于PVDF扫描测头的电路系统构建及性能测试

• 作者: 李志渤 魏晋鹏 黄强先
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: PVDF薄膜 电路构建 性能测试 扫描探针显微镜
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 105-107,110
• 页数: 4页
• 分类号: TH71|TH89
• 字数: 2420字
• 语种: 中文

摘要

一种采用PVDF薄膜和压电传感器结合钨探针构成的新型扫描测头可以对柔软易损坏及具有大台阶特征的表面实现高精度非破坏性测量.基于该新型测头构建了硬件电路系统,并通过相关试验测试了系统特性.试验结果证明:该扫描测头在垂直方向上可实现亚纳米级的分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄强先	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	46	319	9.0	15.0
2	魏晋鹏	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	1	1.0	1.0
3	李志渤	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	22	3.0	4.0