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单晶硅直径控制研究

作者：

邹扬州

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文献信息

篇名	单晶硅直径控制研究
来源期刊	新材料产业	学科	经济
关键词
年，卷（期）	2012,（6）	所属期刊栏目	新材料产业"十二五"发展规划之特种金属功能材料
研究方向		页码范围	24-27
页数		分类号	F626.112
字数	2800字	语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1008-892X.2012.06.006

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1008-892X

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2-623

1999

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