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摘要:
GLOBALFOUNDRjES日前宣布,其在德国德累斯顿的Fab1工厂出货已超25万个基于32n/n高K金属栅制程技术(HKMG)的半导体晶圆。这一里程碑体现了GLOBALFOUNDRIES同其它代工厂相比在HKMG制程技术制造方面的重要领先性和其一直秉承的将前沿技术快速实现量产的历史传统。
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文献信息
篇名 GLOBALFOUNDRIES德累斯顿工厂出货第25万枚32nmHKMG晶圆
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 工厂 晶圆 制程技术 历史传统 快速实现 半导体 金属栅
年,卷(期) 2012,(4) 所属期刊栏目 其它
研究方向 页码范围 63-63
页数 1页 分类号 TN405
字数 835字 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
工厂
晶圆
制程技术
历史传统
快速实现
半导体
金属栅
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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31
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10002
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