高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究

• 作者: 李克 林伯奇 毛朝斌 陈特超
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 串级控制 扩散炉 PID
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.41
• 字数: 2054字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.04.005

摘要

介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈特超	中国电子科技集团公司第四十八研究所国家光伏装备工程技术研究中心	21	38	3.0	5.0
2	毛朝斌	中国电子科技集团公司第四十八研究所国家光伏装备工程技术研究中心	13	11	2.0	2.0
3	李克	中国电子科技集团公司第四十八研究所国家光伏装备工程技术研究中心	5	5	1.0	2.0
4	林伯奇	中国电子科技集团公司第四十八研究所国家光伏装备工程技术研究中心	8	6	1.0	1.0