新型前栅场发射器件的研究

• 作者: 杨帆 林贺 胡利勤 郑隆武 郭太良
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 刻蚀型介质 前栅 场发射
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 192-195
• 分类号: TN383.1
• 字数: 1848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.03.03

摘要

采用刻蚀型介质制作前栅场发射器件.该器件中阴栅结构的形成是利用刻蚀工艺刻蚀介质层,一次性实现栅孔和阴极电极的连通,最后利用电泳沉积工艺转移碳纳米管制备成阴极发射点阵.该工艺避免了对准或套印,使前栅场发射器件制作工艺更简单,降低了成本,更容易实现大面积制作.场发射测试表明当阳压在1500和2000V时,栅压都能够有效地控制阴极的电子发射.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭太良	福州大学物理与信息工程学院	302	1102	15.0	21.0
2	林贺	福州大学物理与信息工程学院	4	5	1.0	1.0
3	杨帆	福州大学物理与信息工程学院	15	17	2.0	3.0
4	胡利勤	福州大学物理与信息工程学院	17	56	4.0	7.0
5	郑隆武	福州大学物理与信息工程学院	2	5	2.0	2.0