精密气浮运动平台动态误差建模与分析

• 作者: 刘珊珊 罗欣 马波琪
• 来源期刊: 华中科技大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 精密气浮运动平台 气体轴承 偏转振动 动力学分析 牛顿-欧拉方程 双边驱动
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 机械与材料工程
• 页码范围: 113-117
• 分类号: TH128
• 语种: 中文

摘要

针对驱动合力偏离运动部件质心时,精密气浮运动平台运动部件会产生偏转振动,会带来运动和定位的动态误差,提出一种基于动力学分析的动态偏转误差评估方法.运用牛顿-欧拉法并引入欧拉四元数建立系统动力学方程,利用实验数据对静压气体轴承受力进行插值处理,有效解决了静压气体轴承受力非线性的问题,得到了更为精确的偏转误差曲线.以H形双边驱动XY运动平台为研究重点,分析其在不同受力情况下的偏转误差,结果表明：驱动不同步会引起运动平台较大幅度的偏转.该方法还可以推广到其他结构模型的运动平台.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘珊珊	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	14	35	3.0	5.0
2	罗欣	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	41	238	9.0	14.0
3	马波琪	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	1	11	1.0	1.0