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摘要:
硅光子学是专门研究硅以及硅基异质结材料(诸如SiGe/Si等)等介质材料中光子的行为和规律的科学,以使用标准的半导体制造技术实现可能的高速光通信为目的,旨在用光纤或波导取代铜导线、
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耦合
封装
各向异性腐
蚀硅
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅光子学 基础与器件
来源期刊 国外科技新书评介 学科 工学
关键词 光子学 硅基 SIGE Si 半导体制造技术 器件 基础 异质结材料 高速光通信
年,卷(期) gwkjxspj_2012,(10) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 11-12
页数 2页 分类号 TN2
字数 语种
DOI
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序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 杜利东 中国科学院电子学研究所 63 104 7.0 8.0
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研究主题发展历程
节点文献
光子学
硅基
SIGE
Si
半导体制造技术
器件
基础
异质结材料
高速光通信
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外科技新书评介
月刊
北京市海淀区中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
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