脉冲激光沉积薄膜创新开放实验的探索

• 作者: 符跃春
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 脉冲激光沉积 创新开放实验 教学改革
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 67-69
• 分类号: O484
• 字数: 3056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2012.03.023

摘要

利用大学生创新开放实验平台,设计了脉冲激光沉积薄膜实验.通过研究制备工艺对薄膜质量的影响,测量了最佳制备工艺条件下TiN薄膜的结构、表面形貌和光学性能.实验激起了学生的科学研究兴趣,对培养学生的创新意识和实践能力具有重大意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	符跃春	广西大学材料科学与工程学院	13	58	3.0	7.0